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Verstehst du Supttering Target?

Hauptleistungsanforderungen an das Supttering Target-Material:

Reinheit
Reinheit ist einer der wichtigsten Leistungsindikatoren des Supttering Target-Materials, da die Reinheit des Target-Materials einen großen Einfluss auf die Leistung des Films hat. In praktischen Anwendungen sind die Reinheitsanforderungen der Target-Materialien jedoch unterschiedlich.
Verunreinigungsgehalt
Verunreinigungen in den Zielfeststoffen und Sauerstoff und Wasser in den Spaltöffnungen sind die Hauptverunreinigungsquellen für abgelagerte Dünnfilme. Targets für unterschiedliche Zwecke haben unterschiedliche Anforderungen an unterschiedliche Verunreinigungsgehalte. Beispielsweise stellen Targets aus reinem Aluminium und Aluminiumlegierungen, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden, besondere Anforderungen an den Gehalt an Alkalimetallen und radioaktiven Elementen.
Dichte
Um die Porosität im Feststoff des Targets zu verringern und die Leistung des gesputterten Films zu verbessern, ist es üblicherweise erforderlich, dass das Target eine hohe Dichte aufweist. Die Targetdichte beeinflusst nicht nur die Sputterrate, sondern auch die elektrischen und optischen Eigenschaften der Filme. Je höher die Targetdichte ist, desto besser sind die Eigenschaften der Filme. Durch Erhöhen der Dichte und Festigkeit des Targets kann das Target außerdem der thermischen Belastung beim Sputterprozess besser standhalten. Die Dichte ist auch einer der wichtigsten Leistungsindikatoren für Zielmaterialien.
Korngröße und Korngrößenverteilung
Gewöhnlich ist das Targetmaterial polykristallin und die Korngröße kann im Bereich von Mikrometer bis Millimeter liegen. Für dasselbe Target ist die Sputterrate des Targets mit feiner Körnung schneller als die des Targets mit grober Körnung, und die Dickenverteilung des vom Target abgelagerten Films mit geringem Korngrößendifferenz (gleichmäßige Verteilung) ist gleichmäßiger.

Unser Unternehmen verfügt über langjährige Erfahrung in der Herstellung und im Verkauf von Molybdän-, Titan-, Tantal- und Niobtargets und wurde von europäischen und amerikanischen Kunden hoch gelobt.

Verpackung

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